• 特气分流阀箱

  适用于一路或多路气源供应多路用气设备

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• 尾气处理设备

  采用进口吸附剂原料配比 吸附效率高 , 延长周期 设备使用寿命长等特点

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• 液体前驱体输送系统

  液体前驱体输送系统作为完全国产化的设备，具有完全自主的知识产权

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• 特气供应柜

  气瓶柜标准配置减压装置，自动切换

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• 研磨液供应柜

  系统设备配套不锈钢及高分子塑性材料管道系统

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• 化学品集中供液设备

  可燃性等危险液态化学品的放置与管理设备

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• 湿法剥离设备

  有化学回收及强化电力节省，提高生产效率的优势

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• 涂胶显影设备

  具有传送速度更快、人机界面更优

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• 立式炉管设备

  有数字式表头易于查看，人机操作界面友好

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• 槽式制绒清洗设备

  具有工艺模块可定制、设备与工艺稳定等优势

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